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- 詳細(xì)資料
- 規(guī)格參數(shù)
- 包裝
| 設(shè)備功能：實(shí)現(xiàn)對(duì)VBG（布拉格光柵）的自動(dòng)化拾取、姿態(tài)識(shí)別、光斑耦合、點(diǎn)膠及UV固化。 |
| 技術(shù)特點(diǎn)： |
| ?高速高精度直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)：最高250mm/s速度，100nm的耦合精度。 |
| ?配備功率檢測積分球。 |
| ?配備光譜儀，最高0.05nm精度（具體精度可根據(jù)客戶要求選配）。 |
| ?高精度TEC+水冷溫控系統(tǒng)，最高可以實(shí)現(xiàn)0.05°的溫度控制精度。 |
?支持直流加電及脈沖加電耦合。
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| ?高精度探底（1um靈敏度），保證膠層厚度一致性 。 |
| ?視覺檢測定位，保證元件排列整齊 。 |
| ?支持?jǐn)?shù)據(jù)上傳中控、MES系統(tǒng)，支持二次開發(fā) 。 |
| 設(shè)備參數(shù) | 設(shè)備型號(hào) | HS-VBGS-XXX |
| 運(yùn)動(dòng)軸數(shù) | 9軸 |
| 電源 | AC 220V 50/60Hz 1000W兩相電 |
| 氣壓源 | 0.5-0.7MPa壓縮空氣，-90kPa |
| 設(shè)備重量 | 350kg |
| 設(shè)備尺寸（不含信號(hào)燈） | 1100*900*1700（寬-深-高，單位mm） |
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| 系統(tǒng)組成 | 耦合系統(tǒng) | 3維高精度直線電機(jī)+3維角度滑臺(tái) |
| 夾持系統(tǒng) | 真空吸嘴結(jié)構(gòu) |
| 電流源 | 電壓/電流分辨率：1mV/1mA 電壓/電流范圍：0-36V/0-30A 控制方式：程控 |
| UV固化 | 波長：365nm 照射頭數(shù)：2
光強(qiáng)：≥1000mw/cm2 |
| 點(diǎn)膠機(jī) | 高精度點(diǎn)膠機(jī)，最小點(diǎn)膠量：0.1uL |
| 視覺系統(tǒng) | 側(cè)視視覺、俯視視覺 |
| 光譜儀 | 400-1100nm波段，0.25nm分辨率 |
| 積分球 | 6英寸積分球，30W最大輸入功率 |
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| 主要運(yùn)動(dòng)平臺(tái)參數(shù) | 耦合系統(tǒng) | X軸 | Y軸 | Z軸 | θX | θY | θZ |
| 行程 | 230 | 70 | 70 | ±5° | ±4° | ±4° |
重復(fù)定位精度
（耦合區(qū)域） | ±0.1um | ±0.005° |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)光柵尺閉環(huán)反饋 | 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
| 說明：設(shè)備技術(shù)參數(shù)依據(jù)具體客戶需求可能會(huì)有改變，上述參數(shù)僅供參考 |