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- 詳細(xì)資料
- 規(guī)格參數(shù)
- 包裝
| 設(shè)備功能：實(shí)現(xiàn)對(duì)硅光芯片（探測(cè)器，調(diào)制器等）的光學(xué)耦合，并對(duì)其性能進(jìn)行測(cè)試。具有雙6維電動(dòng)耦合軸，可以實(shí)現(xiàn)保偏光纖與光柵的耦合。 |
| 技術(shù)特點(diǎn)： |
| ?雙6自由度光纖耦合系統(tǒng)，支持單模光纖和透鏡光纖耦合。 |
| ?智能耦合算法和高倍顯微鏡結(jié)合，實(shí)現(xiàn)粗搜索和精搜索。 |
| ?高精度高度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)光纖和芯片精確定位。 |
| ?支持?jǐn)?shù)據(jù)上傳中控、mes系統(tǒng)。 |
?軟件靈活，多種工作模式（返修、連續(xù)、復(fù)測(cè)）可選。
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| 設(shè)備參數(shù) | 設(shè)備型號(hào) | HS-SCTS-XX |
| 運(yùn)動(dòng)軸數(shù) | 12軸 |
| 電源 | AC 220V |
| 氣壓源 | 0.3-0.7MPa壓縮空氣 |
| 設(shè)備重量 | 250kg |
| 設(shè)備尺寸（不含信號(hào)燈） | 1000*950*1600（寬-深-高，單位mm） |
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| 系統(tǒng)組成 | 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) | 雙6軸（12自由度）耦合系統(tǒng) |
| 測(cè)試系統(tǒng) | 根據(jù)實(shí)際情況配備響應(yīng)的儀表，包括不限于：源表、光源、回?fù)p儀、功率計(jì)等 |
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| 主要運(yùn)動(dòng)平臺(tái)參數(shù) | 耦合系統(tǒng) | XYZ | Tx/Ty/Tz |
| 行程 | >20 | >5° |
重復(fù)定位精度
（耦合區(qū)域） | ±0.1um | ±0.003° |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)光柵尺閉環(huán)反饋 | 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
| 說(shuō)明：設(shè)備技術(shù)參數(shù)依據(jù)具體客戶需求可能會(huì)有改變，上述參數(shù)僅供參考 |