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| 設(shè)備功能：實現(xiàn)對反射鏡的自動化拾取、姿態(tài)識別、光斑耦合、點膠及UV固化，具備大行程耦合能力。 |
| 技術(shù)特點： |
| ?高速高精度直線電機驅(qū)動：最高250mm/s速度，100nm的耦合精度。 |
| ?高精度探底：采用高精度位移傳感器，探底精度高（1um靈敏度）、速度快。 |
?光斑排布耦合方式：采用小電流加電，通過遠近場光斑的位置對反射鏡角度進行耦合，保證輸出光排列整齊同時光線平行，適用于光斑占比要求高、不適宜用大電流耦合、器件結(jié)構(gòu)簡單的器件（比如藍光半導(dǎo)體器件）
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| ?功率-占比復(fù)合耦合方式：直接大電流方式耦合功率，通過工藝摸索，采用階梯電流+電動光闌的復(fù)合耦合，實現(xiàn)功率最大化同時控制光斑在聚焦鏡前排布整齊，從而實現(xiàn)高光束質(zhì)量（占比）。 |
?高工作節(jié)拍和效率：高速高精度直線電機耦合軸，速度、節(jié)拍快，同時耦合軸與加電&UV軸分離，在UV固化到合適時復(fù)用取料時間，整體時間最快約為80s左右(測試條件：3個電流點，24A加電模式下，40固化時間)。
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| ?支持數(shù)據(jù)上傳中控、MES系統(tǒng)，支持Python二次開發(fā) 。 |
| 參數(shù)設(shè)備 | 設(shè)備型號 | HS-MIRS-XXX |
| 運動軸數(shù) | 12軸 |
| 電源 | AC 220V 50/60Hz 1000W兩相電 |
| 氣壓源 | 0.5-0.7MPa壓縮空氣，-90kPa |
| 設(shè)備重量 | 450kg |
| 設(shè)備尺寸（不含信號燈） | 1500*900*1700（寬-深-高，單位mm） |
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| 系統(tǒng)組成 | 耦合系統(tǒng) | 3維高精度直線電機+2維角度滑臺 |
| 夾持系統(tǒng) | 真空吸附 |
| 電流源 | 電壓/電流分辨率：1mV/1mA 電壓/電流范圍：0-36V/0-30A
控制方式：程控 |
| UV固化 | 波長：365nm 照射頭數(shù)：2
光強：≥1000mw/cm2 |
| 點膠機 | 氣動點膠機，點膠重復(fù)精度：±0.01% |
| 視覺系統(tǒng) | 側(cè)試視覺 |
| 光斑分析儀（選配） | 光斑相機/光束分析儀（根據(jù)客戶芯片發(fā)光情況定） |
| 積分球（選配） | 最大支持100W功率輸入 |
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| 主要運動平臺參數(shù) | 耦合系統(tǒng) | X軸 | Y軸 | Z軸 | θY | θZ |
| 行程 | 630 | 70 | 70 | ±4° | ±180° |
重復(fù)定位精度
（耦合區(qū)域） | ±0.1um | ±0.005° | ±0.01° |
| 驅(qū)動方式 | 直線電機驅(qū)動光柵尺閉環(huán)反饋 | 步進電機 | 伺服電機 |
| 說明：設(shè)備技術(shù)參數(shù)依據(jù)具體客戶需求可能會有改變，上述參數(shù)僅供參考 |